Полупроводниковый вафельный робот Hirata Wafer Handler — робот для обработки полупроводниковых пластин. Он транспортирует пластины в фаб-среде. Автоматизированный робот для обработки полупроводниковых пластин, предназначенный для безопасной и точной транспортировки пластин в производственных средах. Hirata Wafer Handler, изготовленный компанией Hirata, предназначен для переноса атмосферных и вакуумных пластин и интеграции портов EFEM/load. Семейство продуктов Hirata для переноса пластин включает в себя роботы для переноса пластин атмосферного и вакуумного типа серия AR-Wn , модули EFEM/Sorter Freedom® , порты нагрузки и открыватели серия FOUP KWF, серия SMIF KWO/KWY/KWP и связанное с ними интегрированное оборудование для автоматизации полупроводников для приложений 300 мм, 200 мм и FOPLP.